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      大面積、高致密、低缺陷SiC膜層CVD制備技術

    本單位生產碳化硅陶瓷手臂，碳化硅陶瓷托盤、碳化硅真空吸盤等高精密部件，用于IC制造行業的硅片傳輸及關鍵制程用晶圓的承載，為IC制造業提供技術支撐。

    碳化硅陶瓷材料具有低膨脹、高導熱，高彈性模量等特點，本單位生產的真空吸盤采用中空、不對稱薄板結構設計，產品具有高穩定性、高輕量化及極低的晶圓接觸面積等特點；多孔吸盤可調整孔隙結構及孔隙率滿足不同工藝要求，產品具有良好的耐化學腐蝕性，目前真空吸盤及多孔吸盤已經應用于IC制造行業的各個環節。